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簡易流量控制安裝 在先進(jìn)的質(zhì)量流量測量基礎(chǔ)上，Compod?搭配了Sierra的Smart-Trak? 2質(zhì)量流量計(jì)或流量控制器使得設(shè)備網(wǎng)絡(luò)組態(tài)更加方便。通過開源RTU協(xié)議，Compod?也可以監(jiān)控或診斷流量控制器的內(nèi)部系統(tǒng)參數(shù)值。用戶在配備了Compod?后可以對Smart-Trak?質(zhì)量流量計(jì)和控制器進(jìn)行更復(fù)雜的控制，兩路數(shù)字輸出和一路模擬輸入可以對以下工藝參數(shù)進(jìn)行配置
? Physical Vapor Deposition (Sputtering)
? 壓力監(jiān)控及控制
? 氣體比率控制
? 內(nèi)部閥門性能監(jiān)測
? 多報(bào)警信號設(shè)置
? 客戶自定義流量啟動(dòng)停止配置
? 氣體累計(jì)及可調(diào)脈沖輸出設(shè)置
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